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实验室净化工程有哪些形式?

发布日期:2019-12-24 作者:沈阳娅轩空气净化工程有限公司 点击:

实验室净化工程的原理和作用是操控产品(如硅芯片等)所触摸大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个杰出的环境空间中出产、制作。此环境空间的规划施进程即可称为实验室净化工程。实验室净化工程有多种形式,一起来了解一下吧!

一、净化工程乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净工程室,并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁室等级1,000-100,000级。

二、净化层流式

层流式空气气流运动成-均均之直线型,空气由掩盖率100%之过滤器进入室内,并镐架地板或两边隔墙板回风。此型式适于洁净室等级需定较高的环境运用,一般其洁净室等级为Class1-100。

实验室净化工程

 三、净化工程复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净之空气。

(1)洁净地道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上,可节约装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以隔离,以避免机器修理时影响作业及质量。ULSI 制程大都采用此种型式。

(2)洁净管道(CleanTube) :将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。产品和作业员及发尘环境彼此隔离,量之送风即可得到杰出之洁净度,可节约能源,不需人工的自动化出产线为适宜运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。

(3)并装部分洁净室(CleanSpot) :将洁净室等级10,000-100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10-1000级以上,以为出产之用;洁净作业台、洁净作业棚、洁净风柜即属此类。

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